低溫循環真空泵中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中順時針方向旋轉時，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環。水環的下部分內表面恰好與葉輪輪轂相切，水環的上部內表面剛好與葉片頂端（實際上葉片在水環內有定的插入深度）。此時葉輪輪轂與水環之間形成一個月牙空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數目相等的若干個小腔。
如果以葉輪的下部零為起點，那么葉輪在旋轉前180度時，小腔面積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕；當葉輪繼續旋轉時，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當小腔與排氣口相通時，氣體便被排出泵外。
低溫循環真空泵正確維護保養方法如下所示：
1、開起電機，查看電機轉向是否正確。
2、某些腐蝕性氣體可導致水箱內水質變差，產生氣泡，影響真空度，故應注意不斷循環換水。
3、盡量控制立式循環水真空泵的流量和揚程在標牌上的使用范圍內，確保真空泵在效率上運轉，獲得大的節能效果。
4、對特殊強腐蝕性氣體，應認真判斷是否與本設備所使用材料有反應，并謹慎使用。
5、立式循環水真空泵在寒冬季節使用時，停止后，需要將泵體下部放水螺塞擰開將介質放凈。防止凍裂。
